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2021-06-21






流體系統

流體系統是與具體實(shí)際管網(wǎng)模型相對應的流動(dòng)元件集合,各個(gè)流動(dòng)元件都有實(shí)際的物理模型與之相對應。流體介質(zhì)是流體系統中的流動(dòng)物質(zhì),流體介質(zhì)的狀態(tài)和屬性直接影響流體系統對流體介質(zhì)的輸運能力、熱傳導能力及其流體的作功能力。流體系統是由各種流動(dòng)元件相互連接而成,流動(dòng)元件包括流體存儲元件、流體單向輸運元件、流體多向輸運元件。流體單向輸運元件只有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口,如各種管道、流體增壓泵、氣體壓縮機等。流體多向輸運元件主要用于分流和匯流,如三通接頭、四通接頭以及引射泵等。流體存儲元件一般有流體體積或質(zhì)量, 有一個(gè)或多個(gè)單向輸運元件與之相連,其流量既可能流進(jìn),也可能流出。

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體積流量的表示方法

對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):1, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  3, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì )超過(guò)規定的范圍。只要做到以上三點(diǎn),  MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。

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